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第十九期项目:光刻机镜面热变形实时校正系统

2021年04月22日 11:40  点击:[]

项目负责人:宋世豪 经济与管理

项目简介:

EUV光刻机工作的过程中,光是能量密度较高,引起镜面温度升高产生形变,从而导致光束产生严重波前畸变,极大制约了投影光学系统的分辨率和刻浊线宽。

本项目提出:在光刻机投影光路中引入自适应光学矫正系统,利用波前测量装置实时精确测量光束的波前畸变,对其进行实时校整,提高分辨率。


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合作单位
  • XNODE

  • 启迪之星

  • 微谱

  • 同济科技孵化器

合作联盟
  • 紫荆谷

  • 国际创业者暑期学校

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